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项目名称：面向智能传感器的mems异质异构集成共性工艺平台项目vox氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目

招标项目编号：0705-264506024003

招标范围：vox氧化钒薄膜溅射沉积设备

招标机构：上海国际招标有限公司

招标人：上海新微技术研发中心有限公司

开标时间：2026-03-12 10:30

公示时间：2026-03-13 17:16 - 2026-03-16 23:59

中标结果公告时间：2026-03-17 14:31

中标人：无锡尚积半导体科技股份有限公司

制造商：无锡尚积半导体科技股份有限公司(登录名sjisemi2021)

制造商国家或地区：中国