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招标项目编号：0705-264506024002

项目名称：面向智能传感器的mems异质异构集成共性工艺平台项目vox氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目单片式湿法去胶机采购项目

招标人：上海新微技术研发中心有限公司

招标机构：上海国际招标有限公司

招标方式：公开招标

招标结果：撤项