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招标项目编号：0613-254028017439

项目名称：arf扫描式光刻系统

项目名称（英文）：arf scanning lithography system

招标人：上海芯源创新中心

招标机构：上海机电设备招标有限公司

招标方式：公开招标

招标结果：重新招标