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项目名称：北京怀柔实验室soc 2025年第二批机电设备采购项目

招标项目编号：1495-254thhrlab03

招标范围：磁控溅射仪作为核心工艺装备，将支撑超顺磁tmr材料的关键功能层制备与膜堆结构调控，需具备单溅射腔多靶位高精度切换能力（≥12个靶位）、优异的膜厚均匀性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉积精度（0.01nm），优于10-8 torr的极限真空度、稳定的射频与直流溅射源、可控的成分调配系统以及低粒子污染的沉积环境，以实现膜层结构的高一致性与批次重复性，为高精度传感芯片的大规模开发和薄膜工艺优化提供坚实支撑。

招标机构：天恒招标有限公司

招标人：北京怀柔实验室

开标时间：2025-10-11 09:30

公示开始时间：2025-10-13 11:48

评标公示截止时间：2025-10-16 17:00

中标候选人名单：