【中国国际招标网】

项目名称：压电/铁电薄膜沉积磁控溅射+磁控溅射+金属沉积系统

招标项目编号：0618-264TC26070A5

招标范围：1.1设备采购名称：压电/铁电薄膜沉积磁控溅射，1套，只接受全新设备。 1.2设备用途：主要用于光电、传感和铁电存储领域，实现高质量压电铁电掺杂氮化铝薄膜和配套电极材料的制备。 1.3设备作业基本流程：①装片->②预处理->③生长->④取片->⑤测试。

招标机构：中招国际招标有限公司

招标人：上海芯源创新中心

开标时间：2026-06-30 09:30

公示开始时间：2026-07-02 20:01

评标公示截止时间：2026-07-07 23:59

中标候选人名单：