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项目名称：原子层沉积氧化堆栈炉

招标项目编号：0705-264024600934

招标范围：采购原子层沉积氧化堆栈炉

招标机构：上海国际招标有限公司

招标人：上海华力集成电路制造有限公司

开标时间：2026-06-17 14:30

公示时间：2026-06-26 14:54 - 2026-06-29 23:59

中标结果公告时间：2026-06-30 09:17

中标人：Tokyo Electron Limited

制造商：Tokyo Electron Limited

制造商国家或地区：日本