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项目名称：电子束直写系统（第二次）

招标项目编号：2947-264hs2026g03

招标范围：电子束直写系统 1套（含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）

招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司

招标人：乾元国家实验室

开标时间：2026-06-16 09:30

公示开始时间：2026-06-16 13:05

评标公示截止时间：2026-06-22 23:59

中标候选人名单：无中标候选人