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项目名称：上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目

招标项目编号：4197-2340SHJT0002/146

招标范围：高密度等离子浅槽隔离氧化硅化学气相沉积机 前道氮化硅化学气相沉积机 前道等离子液源氧化硅化学气相沉积机 无定型碳化学气相沉积机加腔体 高深宽比互联介电层化学气相沉积机加腔体 铝金属物理沉积机

招标机构：中电商务（北京）有限公司

招标人：上海积塔半导体有限公司

开标时间：2026-06-11 10:00

公示开始时间：2026-06-15 20:40

评标公示截止时间：2026-06-18 23:59

中标候选人名单：