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项目名称：上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目

招标项目编号：4197-2340SHJT0002/96

招标范围：氧化炉-高温氧化膜沉积直立式炉管、氧化炉-高温退火工艺直立式炉管、氧化炉-氘气退火工艺直立式炉管、晶圆清洗机、接触孔刻蚀机工艺腔体

招标机构：中电商务（北京）有限公司

招标人：上海积塔半导体有限公司

开标时间：2025-09-23 10:00

公示时间：2025-09-24 21:27 - 2025-09-28 23:59

中标结果公告时间：2026-06-01 15:51

中标人：Tokyo Electron Limited

制造商：TOKYO ELECTRON LIMITED

制造商国家或地区：日本