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招标项目编号：0705-264506024005

项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目

项目名称（英文）：ICB for Physical vapor deposition equipment and chemical vapor deposition equipment for MEMS Heterogeneous Integration Common Process Platform for Intelligent Sensors

招标人：上海新微技术研发中心有限公司

招标机构：上海国际招标有限公司

招标方式：公开招标

招标结果：重新招标